明睿陶瓷專業生產用于半導體設備上使用的陶瓷配件,例如陶瓷手臂,模塊等。主要材料包括95-99.9%氧化鋁,氧化鋯,以及氮化硅,碳化硅陶瓷。基本尺寸精度可以控制在0.005mm左右。
主要特點:
?致密質,高硬度,高耐磨性
?良好的耐熱性能
?優良的機械強度
?高溫環境仍具有良好的絕緣性
?良好的抗腐蝕性
應用領域:
?耐磨耗襯板材料,
?半導體生產制造用備件,粉碎媒介
?耐熱部件
?化學實驗用各種備件
?化學品過濾器
?各種粉碎設備
?其它相關的半導體電子生產用備品備件