LPCVD懸臂舟陶瓷真空吸盤主要用于半導(dǎo)體光伏行業(yè)中薄膜的制備。如擴(kuò)散上下料機(jī)，懸臂舟是擴(kuò)散上下料機(jī)中的關(guān)鍵部件，主要用于擴(kuò)散前后的硅片裝卸。

采用精密耐磨耐高溫陶瓷結(jié)構(gòu)的懸臂舟或稱裝卸片機(jī)械手通常由50片真空吸盤組成，一次可裝卸50片硅片。陶瓷結(jié)構(gòu)的懸臂舟有著不變形、無污染、易維護(hù)的優(yōu)點。懸臂舟依靠真空吸盤的吸力和硅片自身重量采用軟著陸的方式裝卸硅片，可大幅降低碎片率和對載具的精度要求。真空吸盤單片誤差可控制在0.005mm以內(nèi)，50片疊加誤差不超過0.2mm。

LPCVD石英舟，擴(kuò)散石英舟，氧化鋯承載舟主要用于半導(dǎo)體光伏行業(yè)中薄膜的制備。在LPCVD（低壓化學(xué)氣相淀積）工藝中石英舟是硅片在反應(yīng)室中的載具。

明睿陶瓷生產(chǎn)的陶瓷石英舟托齒和吸盤采用精密耐磨耐高溫的氧化鋯陶瓷材料，目前主要分4.76、2.38兩種齒距。氧化鋯石英舟強(qiáng)度高不易變形，無污染，擴(kuò)散過程中不易粘舟，容易維護(hù)，相比普通石英舟使用壽命更長。